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OMS仿真镀膜系统

OMS 1×利用单波长透射率信息,直接监控产品光学厚度,可对多至2000层的任意厚度膜层作光学精确判断。利用PCR仿真工具反复探寻和验证,有助于提高过程成功率,找到新产品开发方案。

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产品详细


尺寸规格





镀膜生产
控制方式:全自动,开锁后可手动
停止判断:任意值(极值和非极值)
断点恢复:半层中断可恢复继续镀膜。
在线分析:极偏,偏差,速率,光晶比


PCR仿真
仿真环境:分级设置影晌参数的误差、偏差和稳定性
光谱显示:显示每层完成后光谱曲线
停止误差:凸显敏感层误差和位置

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