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激光直接膜厚监控系统

光学直接监控系统是光学镀膜里另一个重要的厚度监控手段。基本原理是监控片的透过率信号随着膜层光学厚度增加而呈现拟余弦变化。光学监控的方法是在镀膜过程中实时监测光信号并根据预先设定好的停止条件判停。

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13914187808

产品详细


尺寸规格





总层数
88层
总厚度
30um
入射角
0° 入射
半峰值带宽
2.8nm
峰值透过率
>93.6%(可定制)
截止波长
1000-1600(可定制)
截止深度
0D4-0D5
均匀性
光控光圈±2nm

超低光噪声
输出功率为13dBm
步进式或快速波长范围
内置波长参考光源可确保机器长期保持优于±20pm的高波长精度


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