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产品详细
●尺寸规格
腔体尺寸
Ф900mm
真空配置
DPM22A-20+BSV90+BSJ150L
电子枪
ZX-10D标准功率电子枪
扫描系统
全自动可编程扫描
膜厚控制
膜林MXC-3B
晶体探头
Inficon SPS-540双探头
真空测量
压强控制仪
离子辅助
中兴V300-10A霍尔等离子源
极限真空
2.0X10-4Pa(真空室清洁、蒸发室无样品)
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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