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产品详细
●尺寸规格
腔体尺寸
Ф1100mm
真空配置
分子泵+BSV275+BSJ300L
电子枪
ZX-10D标准功率电子枪
电阻蒸发
六位旋转阳蒸
扫描系统
全自动可编程扫描
膜厚控制
膜林MXC-3B
晶体探头
Inficon RSH600六探头
真空测量
压强控制仪
离子轴助
中兴V300-10A霍尔等离子源
水汽朴集
PolyCold 32A
极限真空
2.0X10-4Pa(真空室清洁、蒸发室无样品)
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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