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ZX-16MAX型270°型电子枪

高功率电子枪适用于真空镀膜中的电子束蒸发镀膜机,最适合应用于:1500、1800、2050、2350等大型光学镀膜机,对磁性材料、高温介质材料、高温金属材料、难熔氧化物材料、半导体材料可进行高效蒸镀。

咨询热线:

13914187808

产品详细

尺寸规格


最高电压
-4~-16KV(随机可调 )
高压稳定性
≤0.1%
最大电流
1.5A
最大加速功率
16KW
电子束偏转角
270°(永磁铁)
电子束位置调节宽度
±30
电子束扫描宽度
±30
电子束扫描频率
50~500Hz
输入电压三相
AC 380V+10% 50/60HZ
输入功率
15KVA
空载功率
400VA
纹波
≤±2%
稳定性
±0.5%
灯丝电压
12V
灯丝电流
70A
最大输出电流
±2.5ADC
输出稳定性
≤0.5%
纹波
≤0.2%
扫描位置
X轴、Y轴
扫描方式
任意可调(由可编程扫描完成)
两把枪可以同时工作,互不影响
可储存每个电子枪束斑能量补偿程序
具有能量补偿功能的电子枪技术


★具体配置可根据客户工艺要求进行选装

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