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我司RF射频源采用独特的射频离化技术产生稳定的等离子体云，实现了摆脱热阴极后稳定工作的方式，可以摆脱热阴极的寿命短板，可以实现过1000+小时连续稳定工作。利用3层栅网确保离子束方向和离子能量的稳定分布;射频离子发生器和射频电子发生器的综合应用实现了真空系统里高能等离子体云的定向能量传送。系统可以在多重工作气体环境下稳定工作。
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●尺寸规格
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
上一个：V300-10A霍尔离子源
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