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阳极层离子源不需要热灯丝阴极进行电荷补偿，可在不同压力范围和不同的气体环境下产生离子束，可在化学活性气体(氧气、空气及卤素气体等)环境下长期稳定工作。 阳极层离子源通过闭合的磁阱、阴极和阳极之间的高电压以及正确的工作压力，在一条环形(矩形或圆形)窄缝中施加强磁场，气流通过磁阱从而产生等离子体射流，在阳极作用下使工作气体离子化并射向工件。
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●尺寸规格
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
上一个：圆柱型旋转阴极
下一个：无
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