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产品详细
●尺寸规格
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腔体尺寸 |
Ф1100mm |
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真空配置 |
Agilent HS-20+BSV275+BSJ300L |
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电子枪 |
ZX-10D标准功率电子枪 |
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扫描系统 |
全自动可编程扫描 |
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膜厚控制 |
膜林MXC-3B |
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晶体探头 |
Inficon SPS-540双探头 |
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真空测量 |
压强控制仪 |
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离子辅助 |
中兴V300-10A霍尔等离子源 |
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极限真空 |
2.0X10-5Pa(真空室清洁、蒸发室无样品） |
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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