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RF射频离子源

我司RF射频源采用独特的射频离化技术产生稳定的等离子体云，实现了摆脱热阴极后稳定工作的方式，可以摆脱热阴极的寿命短板，可以实现过1000+小时连续稳定工作。利用3层栅网确保离子束方向和离子能量的稳定分布;射频离子发生器和射频电子发生器的综合应用实现了真空系统里高能等离子体云的定向能量传送。系统可以在多重工作气体环境下稳定工作。

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圆柱型旋转阴极

旋转阴极是一种电子发射器件，通常用于电子束技术中。它由一个圆形的金属阴极制成，通常是钨或铂等高熔点金属，被放置在真空管内，并通过电极连接到电源。当加上足够的电压时，阴极表面会产生一个强大的电场，使得其表面发射出大量的电子。为了避免阴极表面被氧化或污染，旋转阴极通常会以高速旋转的方式运行。这样可以使得阴极表面不断地更新，从而保证其稳定的性能和长寿命。

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平面阳级层离子源

阳极层离子源不需要热灯丝阴极进行电荷补偿，可在不同压力范围和不同的气体环境下产生离子束，可在化学活性气体(氧气、空气及卤素气体等)环境下长期稳定工作。阳极层离子源通过闭合的磁阱、阴极和阳极之间的高电压以及正确的工作压力，在一条环形(矩形或圆形)窄缝中施加强磁场，气流通过磁阱从而产生等离子体射流，在阳极作用下使工作气体离子化并射向工件。

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