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产品详细
●尺寸规格
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腔体尺寸 |
Ф1350mm |
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真空配置 |
3XFF400-BSV275+BSJ300L |
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电子枪 |
ZX-10D标准功率电子枪 |
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扫描系统 |
全自动可编程扫描 |
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膜厚控制 |
lnficonIC/6/反射式光控 |
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晶体探头 |
Inficon RSH600六探头 |
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真空测量 |
Inficon VCG503 |
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离子辅助 |
RF射频离子源 |
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极限真空 |
7.5.0X10-5Pa(真空室清洁、蒸发室无样品) |
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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