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产品详细
●尺寸规格
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腔体尺寸 |
Ф1550mm |
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真空配置 |
2XDZB550冷泵+VSN6501+NB2400 |
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电子枪 |
ZX-16MAX高功率电子枪 |
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扫描系统 |
全自动可编程扫描 |
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膜厚控制 |
Inficon IC/6 |
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品体探头 |
Inficon RSH600六探头 |
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真空测量 |
Inficon VCG503 |
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离子辅助 |
VEECO Mark II空心阴极霍尔源 |
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极限真空 |
2.0X10-4Pa(真空室清洁、蒸发室无样品) |
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