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产品详细
●尺寸规格
1.电源参数:灯丝(30V 30A),阳极 (300V 10A)
2.数据显示方式:105mmX40mm液晶屏显示
4.电源工作时间设置:本电源支持加功率时间的设置设定时间到后，电源自动停止工作
5.外控方式:支持485通信以及模拟量控制
6.本电源功能全面，操作简便，稳定可靠
7.电源体积:480mmX460mmX132mm
8.电源重量:18Kg
特点适用于基板清洗或塑料基板的镀膜低能量、高电流，照射面积可达到φ1200mm 以上设计的冷却方式，大大提高了稳定性。
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型号 |
ST-GL |
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尺寸 |
φ163mm x200mm(H) |
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放电电压 |
50V-300V |
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放电电流(max) |
8A |
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气体流量 |
5sccm-50sccm (氩气) 10sccm-100sccm (氩气) |
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使用压力 |
3.5x10-2Pa 以下 |
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水冷方式 |
阳极和离子束单元 |
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中和器 |
钨丝 |
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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