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产品详细
●尺寸规格
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离子源口径 |
φ16CM |
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阳极电源 |
300V，10A |
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阳极电压 |
50-350V |
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阳极电流 |
1-10A |
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阴极电流 |
1-40A |
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阳极水冷 |
水冷式，带束流反馈 |
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阴极 |
双灯丝 |
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发散角 |
120度 |
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离子束均匀区 |
±10% (距源出口90m处) |
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工作气体 |
氩气，氧气 |
中兴V300- 10A霍尔等离子体离子源,适合辅助镀膜工艺要求,其突出的特点是小型化,结构紧凑、易于拆装。在制造高质量的光学薄膜时它对改进膜的附着力、致密度、吸收度、折射率有所贡献。
中兴V300-10A霍尔离子源采用永久磁铁并利用极靴沿轴向产生较大梯度的磁场,在环状的霍尔电流作用下，离子沿轴向加速拔出形成离子束。离子束具有较大的能散度及较大的发散角,水冷阳极可有效降低离子源及工件表面的温度。
该离子源电源结构简单,可以实现辅助镀膜所需要的大均匀区的离子束流。单台源就可以满足0800-1350镀膜机的离子束辅助镀膜需要。
★具体配置可根据客户工艺要求进行选装
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